Логин:
Пароль:

Работа №3140
Название работы
ЗАДАНИЕ выполнение работы «Обеспечение проведения научных исследований» № 3.8177.2017/ИТР
Автор работы
Лозовой Кирилл Александрович
Дата начала работы Дата окончания работы
2017-01-01 2019-12-31
Аннотация
Обеспечение бесперебойной работы сверхвысоковакуумной системы для получения тонких эпитаксиальных слоев кремния и германия "Катунь-100". Проведение предэпитаксиальной подготовки (в том числе очистки и отжига) подложек из кремния с кристаллографической ориентацией (100) и (111). Выращивание эпитаксиальных пленок кремния и германия и наногетероструктур с квантовыми точками германия на подложках Si(100) и Si(lll). Исследование морфологической структуры поверхности тонких пленок и гетероструктур с квантовыми точками методом отражательной дифракции быстрых электронов.
Тип НИР Источник финансирования Объем финансирования Вид работы
Получить полный доступ Получить полный доступ Получить полный доступ Получить полный доступ
Заказчик
Получить полный доступ
ГРНТИ УДК Инвентарный номер Госшифр Госконтракт Договор
Получить полный доступ Получить полный доступ Получить полный доступ Получить полный доступ Получить полный доступ Получить полный доступ
Ключевые слова
сверхвысоковакуумная система, эпитаксиальные пленки, кремниий, германий, наногетероструктуры
Предполагаемый результат работы
Получить полный доступ
Организации соисполнители
Получить полный доступ
Государственный учет результатов НИОКР в БД РНТД Минобрнауки РФ
Получить полный доступ
Основание к регистрации темы (электронный вариант)
Только для служебного пользования
   
2007 © ОНТИ НУ ТГУ
E-mail: onti@sun.lib.tsu.ru
Тел: 52-76-99